{rfName}
Tu

Indexat a

Llicència i ús

Icono OpenAccess

Citacions

13

Altmetrics

Grant support

This work has been supported by the Ministerio de Educacion y Ciencia of Spain through project no. MAT2004-00175 and by the Junta de Comunidades de Castilla-La Mancha through contract no. PAC05-001-2.

Anàlisi d'autories institucional

Olivares, J.Autor (correspondència)Malo, J.Autor o coautorIborra, E.Autor o coautorIzpura, I.Autor o coautorClement, M.Autor o coautorSanz-Hervas, A.Autor o coautor

Compartir

9 dejuny de 2019
Publicacions
>
Conferència publicada
Sí

Tunable mechanical resonator with aluminum nitride piezoelectric actuation

Publicat a:Proceedings Of Spie - The International Society For Optical Engineering. 6186 (61860K): 61860K- - 2006-08-09 6186(61860K), DOI: 10.1117/12.664444

Autors: Olivares, J; Malo, J; González, S; Iborra, E; Izpura, I; Clement, M; Sanz-Hervás, A; Sánchez-Rojas, JL; Sanz, P

Afiliacions

Univ Castilla La Mancha, Depo Ingenieria Elect Elect & Automat, Ciudad Real, Spain - Autor o coautor
Univ Politecn Madrid, Grp Microsistemas & Mat Elect, Madrid, Spain - Autor o coautor

Resum

The electromechanical response of piezoelectrically-actuated AIN micromachined bridge resonators has been characterized using laser interferometry and electrical admittance measurements. We compare the response of microbridges with different dimensions and buckling (induced by the initial residual stress of the layers). The resonance frequencies are in good agreement with numerical simulations of the electromechanical behavior of the structures. We show that it is possible to perform a rough tuning of the resonance frequencies by allowing a determined amount of built-in stress in the microbridge during its fabrication. Once the resonator is made, a DC bias added to the AC excitation signal allows to fine-tune the frequency. Our microbridges yield a tuning factor of around 88 Hz/V for a 500 mu m-long microbridge.

Paraules clau

AlnAluminum nitrideFabricationMicrobridgesMicroresonatorPiezoelectric actuationPolysiliconSimulationThin-film

Indicis de qualitat

Impacte bibliomètric. Anàlisi de la contribució i canal de difusió

El treball ha estat publicat a la revista Proceedings Of Spie - The International Society For Optical Engineering a causa de la seva progressió i el bon impacte que ha aconseguit en els últims anys, segons l'agència Scopus (SJR), s'ha convertit en una referència en el seu camp. A l'any de publicació del treball, 2006, es trobava a la posició , aconseguint així situar-se com a revista Q2 (Segundo Cuartil), en la categoria Electrical and Electronic Engineering.

Des d'una perspectiva relativa, i atenent a l'indicador de impacte normalitzat calculat a partir del Field Citation Ratio (FCR) de la font Dimensions, proporciona un valor de: 2.14, el que indica que, comparat amb treballs en la mateixa disciplina i en el mateix any de publicació, el situa com un treball citat per sobre de la mitjana. (font consultada: Dimensions Jul 2025)

Concretament, i atenent a les diferents agències d'indexació, aquest treball ha acumulat, fins a la data 2025-07-12, el següent nombre de cites:

  • WoS: 4
  • Scopus: 9

Impacte i visibilitat social

Des de la dimensió d'influència o adopció social, i prenent com a base les mètriques associades a les mencions i interaccions proporcionades per agències especialitzades en el càlcul de les denominades "Mètriques Alternatives o Socials", podem destacar a data 2025-07-12:

  • L'ús d'aquesta aportació en marcadors, bifurcacions de codi, afegits a llistes de favorits per a una lectura recurrent, així com visualitzacions generals, indica que algú està fent servir la publicació com a base del seu treball actual. Això pot ser un indicador destacat de futures cites més formals i acadèmiques. Aquesta afirmació està avalada pel resultat de l'indicador "Capture", que aporta un total de: 12 (PlumX).

És fonamental presentar evidències que recolzin l'alineació plena amb els principis i directrius institucionals sobre Ciència Oberta i la Conservació i Difusió del Patrimoni Intel·lectual. Un clar exemple d'això és:

  • El treball s'ha enviat a una revista la política editorial de la qual permet la publicació en obert Open Access.

Anàlisi del lideratge dels autors institucionals

Hi ha un lideratge significatiu, ja que alguns dels autors pertanyents a la institució apareixen com a primer o últim signant, es pot apreciar en el detall: Primer Autor (OLIVARES ROZA, JIMENA) .

l'autor responsable d'establir les tasques de correspondència ha estat OLIVARES ROZA, JIMENA.