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Investigadores/as Institucionales

Olivares, J.Autor (correspondencia)Malo, J.Autor o CoautorIborra, E.Autor o CoautorIzpura, I.Autor o CoautorClement, M.Autor o CoautorSanz-Hervas, A.Autor o Coautor

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9 de junio de 2019
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Conferencia Publicada
No

Tunable mechanical resonator with aluminum nitride piezoelectric actuation

Publicado en: Proceedings Of Spie - The International Society For Optical Engineering. 6186 (61860K): 61860K- - 2006-08-09 6186(61860K), DOI: 10.1117/12.664444

Autores:

Olivares, J; Malo, J; Gonzalez, S; Iborra, E; Izpura, I; Clement, M; Sanz-Hervas, A; Sanchez-Rojas, J L; Sanz, P
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Afiliaciones

Univ Castilla La Mancha, Depo Ingenieria Elect Elect & Automat, Ciudad Real, Spain - Autor o Coautor
Univ Politecn Madrid, Grp Microsistemas & Mat Elect, Madrid, Spain - Autor o Coautor

Resumen

The electromechanical response of piezoelectrically-actuated AIN micromachined bridge resonators has been characterized using laser interferometry and electrical admittance measurements. We compare the response of microbridges with different dimensions and buckling (induced by the initial residual stress of the layers). The resonance frequencies are in good agreement with numerical simulations of the electromechanical behavior of the structures. We show that it is possible to perform a rough tuning of the resonance frequencies by allowing a determined amount of built-in stress in the microbridge during its fabrication. Once the resonator is made, a DC bias added to the AC excitation signal allows to fine-tune the frequency. Our microbridges yield a tuning factor of around 88 Hz/V for a 500 mu m-long microbridge.
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Palabras clave

AlnAluminum nitrideFabricationMicrobridgesMicroresonatorPiezoelectric actuationPolysiliconSimulationThin-film

Indicios de calidad

Impacto bibliométrico. Análisis de la aportación y canal de difusión

El trabajo ha sido publicado en la revista Proceedings Of Spie - The International Society For Optical Engineering debido a la progresión y el buen impacto que ha alcanzado en los últimos años, según la agencia Scopus (SJR), se ha convertido en una referencia en su campo. En el año de publicación del trabajo, 2006, se encontraba en la posición , consiguiendo con ello situarse como revista Q2 (Segundo Cuartil), en la categoría Electrical and Electronic Engineering.

Independientemente del impacto esperado determinado por el canal de difusión, es importante destacar el impacto real observado de la propia aportación.

Según las diferentes agencias de indexación, el número de citas acumuladas por esta publicación hasta la fecha 2025-12-21:

  • WoS: 4
  • Scopus: 9
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Impacto y visibilidad social

Desde la dimensión de Influencia o adopción social, y tomando como base las métricas asociadas a las menciones e interacciones proporcionadas por agencias especializadas en el cálculo de las denominadas “Métricas Alternativas o Sociales”, podemos destacar a fecha 2025-12-21:

  • La utilización de esta aportación en marcadores, bifurcaciones de código, añadidos a listas de favoritos para una lectura recurrente, así como visualizaciones generales, indica que alguien está usando la publicación como base de su trabajo actual. Esto puede ser un indicador destacado de futuras citas más formales y académicas. Tal afirmación es avalada por el resultado del indicador “Capture” que arroja un total de: 12 (PlumX).
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Análisis de liderazgo de los autores institucionales

Existe un liderazgo significativo ya que algunos de los autores pertenecientes a la institución aparecen como primer o último firmante, se puede apreciar en el detalle: Primer Autor (OLIVARES ROZA, JIMENA) .

el autor responsable de establecer las labores de correspondencia ha sido OLIVARES ROZA, JIMENA.

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Reconocimientos ligados al ítem

This work has been supported by the Ministerio de Educacion y Ciencia of Spain through project no. MAT2004-00175 and by the Junta de Comunidades de Castilla-La Mancha through contract no. PAC05-001-2.
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